| Поле | Название | Значение |
| |
Тип записи |
a |
| |
Библиографический уровень |
b |
| 001 |
Контрольный номер |
ULGU/FULLTEXT/f12c4dedff5b4d0b8b81c06e0ffc955c |
| 005 |
Дата корректировки |
20250409132720.2 |
| 008 |
Кодируемые данные |
250409s2025||||ru||||||||||||||||||rus|d |
| 040 |
Источник каталогиз. |
__ |
| a |
Служба первич. каталог. |
НБ УлГУ |
| b |
Код языка каталог. |
rus |
| 041 |
Код языка издания |
0_ |
| a |
Код языка текста |
rus |
| h |
Код языка оригинала |
rus |
| 084 |
Индекс другой классификации/Индекс ББК |
__ |
| a |
Индекс другой классификации/Индекс ББК |
22.333 |
| 100 |
Автор |
1_ |
| a |
Автор |
Пашенцев, В. Н. |
| u |
Дополнение |
Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" (Москва) |
| 4 |
Код отношения |
070 |
| 245 |
Заглавие |
10 |
| a |
Заглавие |
Магнетрон с внешним магнитом для увеличения содержания ионов в потоке осаждаемых атомов |
| 336 |
Вид содержания |
__ |
| a |
Термин вида содержания |
Текст |
| 337 |
Средство доступа |
__ |
| a |
Термин типа средства |
непосредственный |
| 504 |
Библиография |
__ |
| a |
Библиография |
Библиогр.: с. 701 (14 назв.) |
| 520 |
Аннотация |
0_ |
| a |
Аннотация |
Исследован магнетрон с расположенным перед ним кольцевым магнитом NdFeB, изменяющим конфигурацию суммарного магнитного поля. Показано, что в результате образуется магнитная ловушка, в которой электроны удерживаются в области разряда, вследствие чего эффективность ионизации распыленных атомов возрастает. |
| 650 |
Тематические рубрики |
14 |
| a |
Основная рубрика |
Физика |
| 650 |
Тематические рубрики |
14 |
| a |
Основная рубрика |
Электронные и ионные явления. Физика плазмы |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
магнетроны |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
магнитное поле |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
кольцевые магниты |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
NdFeB |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
магнитные ловушки |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
распыленные атомы |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
магнетронное распыление |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
ионизация |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
потоки атомов |
| 700 |
Другие авторы |
12 |
| a |
Другие авторы |
Пашенцева, Е. В. |
| u |
Дополнение |
Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова |
| 4 |
Код отношения |
070 |
| 773 |
Источник информации |
18 |
| w |
Контрольный № источника |
ULGU/FULLTEXT/72d5a84859914b379f7484d88f39160d |
| t |
Название источника |
Журнал технической физики |
| d |
Место и дата издания |
2025 |
| g |
Прочая информация |
№ 4. - С. 694-701 |
| x |
ISSN |
0044-4642 |
| 856 |
Электронный адрес документа |
40 |
| u |
URL |
https://journals.ioffe.ru/articles/60004 |
| 901 |
Тип документа |
__ |
| t |
Тип документа |
b |
| 911 |
Журнальная рубрика |
__ |
| a |
Журнальная рубрика |
Плазма |