Поле | Название | Значение |
|
Тип записи |
a |
|
Библиографический уровень |
b |
001 |
Контрольный номер |
ULGU/FULLTEXT/f12c4dedff5b4d0b8b81c06e0ffc955c |
005 |
Дата корректировки |
20250409132720.2 |
008 |
Кодируемые данные |
250409s2025||||ru||||||||||||||||||rus|d |
040 |
Источник каталогиз. |
__ |
a |
Служба первич. каталог. |
НБ УлГУ |
b |
Код языка каталог. |
rus |
041 |
Код языка издания |
0_ |
a |
Код языка текста |
rus |
h |
Код языка оригинала |
rus |
084 |
Индекс другой классификации/Индекс ББК |
__ |
a |
Индекс другой классификации/Индекс ББК |
22.333 |
100 |
Автор |
1_ |
a |
Автор |
Пашенцев, В. Н. |
u |
Дополнение |
Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" (Москва) |
4 |
Код отношения |
070 |
245 |
Заглавие |
10 |
a |
Заглавие |
Магнетрон с внешним магнитом для увеличения содержания ионов в потоке осаждаемых атомов |
336 |
Вид содержания |
__ |
a |
Термин вида содержания |
Текст |
337 |
Средство доступа |
__ |
a |
Термин типа средства |
непосредственный |
504 |
Библиография |
__ |
a |
Библиография |
Библиогр.: с. 701 (14 назв.) |
520 |
Аннотация |
0_ |
a |
Аннотация |
Исследован магнетрон с расположенным перед ним кольцевым магнитом NdFeB, изменяющим конфигурацию суммарного магнитного поля. Показано, что в результате образуется магнитная ловушка, в которой электроны удерживаются в области разряда, вследствие чего эффективность ионизации распыленных атомов возрастает. |
650 |
Тематические рубрики |
14 |
a |
Основная рубрика |
Физика |
650 |
Тематические рубрики |
14 |
a |
Основная рубрика |
Электронные и ионные явления. Физика плазмы |
653 |
Ключевые слова |
1_ |
a |
Ключевые слова |
магнетроны |
653 |
Ключевые слова |
1_ |
a |
Ключевые слова |
магнитное поле |
653 |
Ключевые слова |
1_ |
a |
Ключевые слова |
кольцевые магниты |
653 |
Ключевые слова |
1_ |
a |
Ключевые слова |
NdFeB |
653 |
Ключевые слова |
1_ |
a |
Ключевые слова |
магнитные ловушки |
653 |
Ключевые слова |
1_ |
a |
Ключевые слова |
распыленные атомы |
653 |
Ключевые слова |
1_ |
a |
Ключевые слова |
магнетронное распыление |
653 |
Ключевые слова |
1_ |
a |
Ключевые слова |
ионизация |
653 |
Ключевые слова |
1_ |
a |
Ключевые слова |
потоки атомов |
700 |
Другие авторы |
12 |
a |
Другие авторы |
Пашенцева, Е. В. |
u |
Дополнение |
Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова |
4 |
Код отношения |
070 |
773 |
Источник информации |
18 |
w |
Контрольный № источника |
ULGU/FULLTEXT/72d5a84859914b379f7484d88f39160d |
t |
Название источника |
Журнал технической физики |
d |
Место и дата издания |
2025 |
g |
Прочая информация |
№ 4. - С. 694-701 |
x |
ISSN |
0044-4642 |
856 |
Электронный адрес документа |
40 |
u |
URL |
https://journals.ioffe.ru/articles/60004 |
901 |
Тип документа |
__ |
t |
Тип документа |
b |
911 |
Журнальная рубрика |
__ |
a |
Журнальная рубрика |
Плазма |