| Поле | Название | Значение |
| |
Тип записи |
a |
| |
Библиографический уровень |
b |
| 001 |
Контрольный номер |
ULGU/FULLTEXT/b7c4727f5dbc413e9773e0ce55bbb598 |
| 005 |
Дата корректировки |
20250122134636.0 |
| 008 |
Кодируемые данные |
250122s2025||||ru||||||||||||||||||rus|d |
| 040 |
Источник каталогиз. |
__ |
| a |
Служба первич. каталог. |
НБ УлГУ |
| b |
Код языка каталог. |
rus |
| 041 |
Код языка издания |
0_ |
| a |
Код языка текста |
rus |
| h |
Код языка оригинала |
rus |
| 084 |
Индекс другой классификации/Индекс ББК |
__ |
| a |
Индекс другой классификации/Индекс ББК |
22.37 |
| 100 |
Автор |
1_ |
| a |
Автор |
Шибалов, М. В. |
| u |
Дополнение |
Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН (Москва) |
| 4 |
Код отношения |
070 |
| 245 |
Заглавие |
10 |
| a |
Заглавие |
Исследование неоднородности свойств тонких пленок нитрида ниобия, полученных методом атомно-слоевого осаждения |
| 336 |
Вид содержания |
__ |
| a |
Термин вида содержания |
Текст |
| 337 |
Средство доступа |
__ |
| a |
Термин типа средства |
непосредственный |
| 504 |
Библиография |
__ |
| a |
Библиография |
Библиогр.: с. 89 (23 назв.) |
| 520 |
Аннотация |
0_ |
| a |
Аннотация |
Изучена неоднородность свойств тонкой пленки нитрида ниобия, полученной методом атомно-слоевого осаждения, усиленного плазмой на 100 mm кремниевой подложке со слоем оксида кремния. |
| 650 |
Тематические рубрики |
14 |
| a |
Основная рубрика |
Физика |
| 650 |
Тематические рубрики |
14 |
| a |
Основная рубрика |
Физика твердого тела. Кристаллография в целом |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
атомно-слоевое осаждение |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
нитрид ниобия |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
тонкие пленки |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
неоднородность |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
плазма |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
кремниевые подложки |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
оксид кремния |
| 700 |
Другие авторы |
12 |
| a |
Другие авторы |
Шибалова, А. А. |
| u |
Дополнение |
Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН (Москва) |
| 4 |
Код отношения |
070 |
| 700 |
Другие авторы |
12 |
| a |
Другие авторы |
Шевченко, А. Р. |
| u |
Дополнение |
Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН (Москва) |
| 4 |
Код отношения |
070 |
| 700 |
Другие авторы |
12 |
| a |
Другие авторы |
Мумляков, А. М. |
| u |
Дополнение |
Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН (Москва) |
| 4 |
Код отношения |
070 |
| 700 |
Другие авторы |
12 |
| a |
Другие авторы |
Филиппов, И. А. |
| u |
Дополнение |
Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН (Москва) |
| 4 |
Код отношения |
070 |
| 700 |
Другие авторы |
12 |
| a |
Другие авторы |
Тархов, М. А. |
| u |
Дополнение |
Национальный исследовательский университет "Московский энергетический институт" |
| 4 |
Код отношения |
070 |
| 773 |
Источник информации |
18 |
| w |
Контрольный № источника |
ULGU/FULLTEXT/2515a3c301be4324ba5c5340aea57a5a |
| t |
Название источника |
Журнал технической физики |
| d |
Место и дата издания |
2025 |
| g |
Прочая информация |
№ 1. - С. 84-89 |
| x |
ISSN |
0044-4642 |
| 856 |
Электронный адрес документа |
40 |
| u |
URL |
https://journals.ioffe.ru/articles/59463 |
| 901 |
Тип документа |
__ |
| t |
Тип документа |
b |
| 911 |
Журнальная рубрика |
__ |
| a |
Журнальная рубрика |
Физическое материаловедение |