Представление документа в формате MARC21

ПолеНазваниеЗначение
  Тип записи a
  Библиографический уровень b
001 Контрольный номер ULGU/FULLTEXT/e558211258ca4e44b0ad1643bbbd603a
005 Дата корректировки 20250205152037.8
008 Кодируемые данные 241225s2024||||ru||||||||||||||||||rus|d
040 Источник каталогиз. __
a Служба первич. каталог. НБ УлГУ
b Код языка каталог. rus
041 Код языка издания 0_
a Код языка текста rus
h Код языка оригинала rus
084 Индекс другой классификации/Индекс ББК __
a Индекс другой классификации/Индекс ББК 22.37
100 Автор 1_
a Автор Ашкинази, Е. Е.
u Дополнение Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН (Москва)
4 Код отношения 070
245 Заглавие 10
a Заглавие Особенности роста микро- и нанокристаллических алмазных пленок на высокоаспектных подложках с вращением
336 Вид содержания __
a Термин вида содержания Текст
337 Средство доступа __
a Термин типа средства непосредственный
504 Библиография __
a Библиография Библиогр.: с. 2146 (31 назв.)
520 Аннотация 0_
a Аннотация В результате моделирования E-поля расширены функции основной проводящей платформы СВЧ реактора за счет совмещения с кольцевым запредельным волноводом, функционально обеспечивающим вращение подложки.
650 Тематические рубрики 14
a Основная рубрика Физика
650 Тематические рубрики 14
a Основная рубрика Физика твердого тела. Кристаллография в целом
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова алмазные пленки
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова E-поле
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова нанокристаллические пленки
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова микрокристаллические пленки
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова высокоаспектные подложки
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова вращение подложки
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова СВЧ-реакторы
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова волноводы
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова рост пленок
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Федоров, С. В.
u Дополнение Московский государственный технологический университет "СТАНКИН"
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Мартьянов, А. К.
u Дополнение Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН (Москва)
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Большаков, А. П.
u Дополнение Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН (Москва)
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Попович, А. Ф.
u Дополнение Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Совык, Д. Н.
u Дополнение Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН (Москва)
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Хомич, А. А.
u Дополнение Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Литвинов, А. П.
u Дополнение Московский государственный технологический университет "СТАНКИН"
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Ральченко, В. Г.
u Дополнение Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН (Москва)
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Григорьев, С. Н.
u Дополнение Московский государственный технологический университет "СТАНКИН"
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Конов, В. И.
u Дополнение Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН (Москва)
4 Код отношения 070
773 Источник информации 18
w Контрольный № источника ULGU/FULLTEXT/55b789fdc1fd4f6bb8c8af05def79aa5
t Название источника Журнал технической физики
d Место и дата издания 2024
g Прочая информация № 12. - С. 2135-2146
x ISSN 0044-4642
856 Электронный адрес документа 40
u URL https://journals.ioffe.ru/articles/59275
901 Тип документа __
t Тип документа b
911 Журнальная рубрика __
a Журнальная рубрика Физическое материаловедение