Представление документа в формате MARC21

ПолеНазваниеЗначение
  Тип записи a
  Библиографический уровень b
001 Контрольный номер ULGU/FULLTEXT/6b83a64f7bae4832b43e0500ca70cecd
005 Дата корректировки 20240827125411.3
008 Кодируемые данные 240826s2024||||ru||||||||||||||||||rus|d
040 Источник каталогиз. __
a Служба первич. каталог. НБ УлГУ
b Код языка каталог. rus
041 Код языка издания 0_
a Код языка текста rus
h Код языка оригинала rus
084 Индекс другой классификации/Индекс ББК __
a Индекс другой классификации/Индекс ББК 22.3с
100 Автор 1_
a Автор Лопатин, А. Я.
u Дополнение Институт физики микроструктур РАН (Афонино)
4 Код отношения 070
245 Заглавие 10
a Заглавие Стенд для тестирования чувствительных к экстремальному ультрафиолетовому излучению фоторезистов
336 Вид содержания __
a Термин вида содержания Текст
337 Средство доступа __
a Термин типа средства непосредственный
500 Примечания __
a Примечание Материалы XXVIII-го Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника" (Нижний Новгород, 11-15 марта 2024 г.)
504 Библиография __
a Библиография Библиогр.: с. 1329-1330 (33 назв.)
520 Аннотация 0_
a Аннотация Описан экспериментальный стенд для тестирования чувствительных к экстремальному ультрафиолетовому излучению фоторезистов. Стенд построен на базе лазерно-плазменного источника на основе Nd : YAG-лазера и газовой струи в качестве мишени, а также зеркального монохроматора.
650 Тематические рубрики 14
a Основная рубрика Физика
650 Тематические рубрики 14
a Основная рубрика Физические приборы и методы физического эксперимента
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова симпозиумы
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова стенды
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова экстремальное ультрафиолетовое излучение
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова ультрафиолетовое излучение
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова фоторезисты
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова тестирование прибора
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова лазерно-плазменные источники
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова Nd
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова YAG-лазеры
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова газовая струя
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова мишени
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова зеркальный монохроматор
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Лучин, В. И.
u Дополнение Институт физики микроструктур РАН (Афонино)
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Нечай, А. Н.
u Дополнение Институт физики микроструктур РАН (Афонино)
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Перекалов, А. А.
u Дополнение Институт физики микроструктур РАН (Афонино)
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Пестов, А. Е.
u Дополнение Институт физики микроструктур РАН (Афонино)
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Реунов, Д. Г.
u Дополнение Институт физики микроструктур РАН (Афонино)
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Чхало, Н. И.
u Дополнение Институт физики микроструктур РАН (Афонино)
4 Код отношения 070
773 Источник информации 18
w Контрольный № источника ULGU/FULLTEXT/ea8881dbf7334722a64fa87cc0b917c4
t Название источника Журнал технической физики
d Место и дата издания 2024
g Прочая информация № 8. - С. 1323-1330
x ISSN 0044-4642
856 Электронный адрес документа 40
u URL https://journals.ioffe.ru/articles/58560
901 Тип документа __
t Тип документа b
911 Журнальная рубрика __
a Журнальная рубрика Физические приборы и методы эксперимента