| Поле | Название | Значение |
| |
Тип записи |
a |
| |
Библиографический уровень |
b |
| 001 |
Контрольный номер |
ULGU/FULLTEXT/714aa175bfab4abd98ae64c66eb54d2c |
| 005 |
Дата корректировки |
20240913103526.0 |
| 008 |
Кодируемые данные |
240826s2024||||ru||||||||||||||||||rus|d |
| 040 |
Источник каталогиз. |
__ |
| a |
Служба первич. каталог. |
НБ УлГУ |
| b |
Код языка каталог. |
rus |
| 041 |
Код языка издания |
0_ |
| a |
Код языка текста |
rus |
| h |
Код языка оригинала |
rus |
| 084 |
Индекс другой классификации/Индекс ББК |
__ |
| a |
Индекс другой классификации/Индекс ББК |
22.344 |
| 100 |
Автор |
1_ |
| a |
Автор |
Лубенченко, А. В. |
| u |
Дополнение |
НИУ Московский энергетический институт |
| 4 |
Код отношения |
070 |
| 245 |
Заглавие |
10 |
| a |
Заглавие |
Послойный анализ многослойных неоднородных ультратонких пленок с субнанометровым разрешением |
| 336 |
Вид содержания |
__ |
| a |
Термин вида содержания |
Текст |
| 337 |
Средство доступа |
__ |
| a |
Термин типа средства |
непосредственный |
| 500 |
Примечания |
__ |
| a |
Примечание |
Материалы XXVIII-го Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника" (Нижний Новгород, 11-15 марта 2024 г.) |
| 504 |
Библиография |
__ |
| a |
Библиография |
Библиогр.: с. 1239 (14 назв.) |
| 520 |
Аннотация |
0_ |
| a |
Аннотация |
Предложен комплексный метод неразрушающего количественного послойного химического фазового анализа многослойных многокомпонентных ультратонких пленок с субнанометровой точностью до глубин несколько десятков нанометров, основанный на рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии с угловым разрешением и спектроскопии характеристических потерь энергии фотоэлектронов. Проведен послойный химический фазовый анализ ультратонких пленок ниобия и нитрида ниобия, окисленных на воздухе. |
| 650 |
Тематические рубрики |
14 |
| a |
Основная рубрика |
Физика |
| 650 |
Тематические рубрики |
14 |
| a |
Основная рубрика |
Спектроскопия |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
симпозиумы |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
ультратонкие пленки |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
субнанометровая точность |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
химический фазовый анализ |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
фотоэлектроны |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
ниобий |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
нитрид ниобия |
| 700 |
Другие авторы |
12 |
| a |
Другие авторы |
Лубенченко, О. И. |
| u |
Дополнение |
НИУ Московский энергетический институт |
| 4 |
Код отношения |
070 |
| 700 |
Другие авторы |
12 |
| a |
Другие авторы |
Иванов, Д. А. |
| u |
Дополнение |
НИУ Московский энергетический институт |
| 4 |
Код отношения |
070 |
| 700 |
Другие авторы |
12 |
| a |
Другие авторы |
Лукьянцев, Д. С. |
| u |
Дополнение |
НИУ Московский энергетический институт |
| 4 |
Код отношения |
070 |
| 700 |
Другие авторы |
12 |
| a |
Другие авторы |
Паволоцкий, А. Б. |
| u |
Дополнение |
Chalmers University of Technology (Goteborg, Sweden) |
| 4 |
Код отношения |
070 |
| 700 |
Другие авторы |
12 |
| a |
Другие авторы |
Павлов, О. Н. |
| u |
Дополнение |
НИУ Московский энергетический институт |
| 4 |
Код отношения |
070 |
| 700 |
Другие авторы |
12 |
| a |
Другие авторы |
Иванова, И. В. |
| u |
Дополнение |
НИУ Московский энергетический институт |
| 4 |
Код отношения |
070 |
| 773 |
Источник информации |
18 |
| w |
Контрольный № источника |
ULGU/FULLTEXT/ea8881dbf7334722a64fa87cc0b917c4 |
| t |
Название источника |
Журнал технической физики |
| d |
Место и дата издания |
2024 |
| g |
Прочая информация |
№ 8. - С. 1229-1239 |
| x |
ISSN |
0044-4642 |
| 856 |
Электронный адрес документа |
40 |
| u |
URL |
https://journals.ioffe.ru/articles/58550 |
| 901 |
Тип документа |
__ |
| t |
Тип документа |
b |
| 911 |
Журнальная рубрика |
__ |
| a |
Журнальная рубрика |
Физическая электроника |