| Найдено документов - 1 | Источник: Гусева, В. Е. (Институт физики микроструктур РАН (Нижний Новгород)). Измерение конверсионной эффективности лазерно-плазменного источника для ЭУФ литографии на длине волны 11.2 nm с различными соп... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
| Журнал технической физики. № 9. - Москва, 2026. - URL: https://journals.ioffe.ru/issues/2686. | |
| Поиск: | Статьи из номера журнала (сборника) Источник |
| Ссылка на ресурс: | https://journals.ioffe.ru/issues/2686 |