| Найдено документов - 1 | Источник: Степанов, Л. В. (Институт спектроскопии РАН (Троицк, Москва)). Демпфированный вакуумный разряд как вариант источника ЭУФ излучения для литографии / Л. В. Степанов, П. С. Анциферов, Н. Д. Матюхин.... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
Журнал технической физики. № 7. - Москва, 2025. - URL: https://journals.ioffe.ru/issues/2538.
Ссылка на ресурс: https://journals.ioffe.ru/issues/2538