| Найдено документов - 1 | Источник: Исследование неоднородности свойств тонких пленок нитрида ниобия, полученных методом атомно-слоевого осаждения / М. В. Шибалов, А. А. Шибалова, А. Р. Шевченко [и др.]. - Текст : непосредственный... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
Журнал технической физики. № 1. - Москва, 2025. - URL: https://journals.ioffe.ru/issues/2480.
Ссылка на ресурс: https://journals.ioffe.ru/issues/2480